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業界人士解釋,由於南科14廠先進製程都需要45層以上的曝光,有些晶圓在地震前雖完成了某一層曝光,逃過震碎的命運,但在下一層曝光時,可能因為晶圓對準出現移位情況、調校失敗,要報廢重製,粗估要完成全線重新曝光對準調整,還要25天。台積電昨公告向日本Tokyo Electron Ltd公司訂購生產機器,傳出是為了彌補在台南強震中被震壞的機器 。外界推估台積電受到地震損害的晶圓近6萬片、損失金額超過70億元,台積電代理發言人孫又文駁斥,指外界目前猜測的數據都不精準,強調估算之後,如果有新的財測數據,會對外公布。
中國時報【邱琮皓╱台北報導】
孫又文強調,台積電南科廠的機器設備沒有損壞、也沒有停工的問題。但據了解,台積電仍動員了300名工程師、協力廠200多名設備人員進廠搶救,主要是因為14A廠復原進度不如其他製程,台積電一方面除了緊急調整機器、也同時準備購入新機,雙管並進、補回產能。
台積電南科廠區中6廠與14B廠已復工,台積電官方預估,這次出貨量影響可能略大於1%。
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